Wobble sticks

Le wobble stick UHV Design est un concept modulaire mince bénéficiant de la technologie de couplage magnétique haute puissance d’UHV Design. L’accouplement élimine le besoin de longs empilements de soufflets à coupelles soudés typiquement employés avec des conceptions de wobble sticks classiques.

Cela réduit le risque de fuites, en particulier pour les applications de dépôt telles que la MBE où les particules ou le dépôt entre les convolutions du soufflet peuvent réduire les durées de vie ou provoquer une défaillance immédiate.

UHV Design a une gamme de Wobble Sticks spécialement conçus pour les systèmes VT-SPM courants (type plaquettes Omicron). Cliquez ici pour en savoir plus sur la gamme XWSG40.

Principales caractéristiques

• Version en ligne et à angle droit avec inclinaison de +/-22°
• Plage de course de 100 à 350mm (incréments de 50mm)
• Remarque: des courses plus longues sont disponibles sur demande. Contactez-nous pour plus de détails.
• Étuvage à 250°C sans avoir besoin de retirer l’assemblage de l’aimant extérieur
• Le WSG40 comprend une poignée de déclenchement
• Choix des effecteurs d’extrémité pour le type de porte-substrat
• Aucune poussée due au vide

Pour plus d’informations: cliquer ici.