Une solution \u00e9conomique pour le chauffage d’\u00e9chantillons tout en b\u00e9n\u00e9ficiant d’une technologie de chauffage de pointe \u00e9prouv\u00e9e. Ils comprennent des \u00e9l\u00e9ments chauffants trait\u00e9s par CVD emball\u00e9s dans des bo\u00eetiers m\u00e9talliques r\u00e9fractaires.
\nEn plus des solutions compl\u00e8tes de chauffage des \u00e9chantillons propos\u00e9es avec les manipulateurs de d\u00e9p\u00f4t EpiCentre, UHV Design propose \u00e9galement une gamme de modules de chauffage individuels que les utilisateurs finaux peuvent int\u00e9grer dans leurs propres conceptions de manipulateurs avec chauffage. La gamme offre aux utilisateurs finaux une solution \u00e9conomique pour le chauffage des \u00e9chantillons, tout en b\u00e9n\u00e9ficiant d’une technologie de chauffage \u00e9prouv\u00e9e utilis\u00e9e dans les manipulateurs de pointe du march\u00e9.<\/p>\n
Les modules de chauffage UHV Design sont utilis\u00e9s dans les applications sous vide pour chauffer par rayonnement des wafers du semi-conducteur, des \u00e9chantillons support\u00e9s par des supports ou divers autres substrats \u00e0 des temp\u00e9ratures \u00e9lev\u00e9es. Les modules comportent des \u00e9l\u00e9ments chauffants trait\u00e9s par CVD emball\u00e9s dans des bo\u00eetiers en m\u00e9tal r\u00e9fractaire.
\nLa zone chaude imm\u00e9diate maintenant l’\u00e9l\u00e9ment est construite \u00e0 partir de m\u00e9taux r\u00e9fractaires tels que le molybd\u00e8ne, le tantale et la c\u00e9ramique et ne comprend aucun autre mat\u00e9riau susceptible de compromettre les performances \u00e0 haute temp\u00e9rature. Ces modules sont donc particuli\u00e8rement adapt\u00e9s aux applications ultra-vide.<\/p>\n
Principales caract\u00e9ristiques<\/p>\n