La gamme EpiCentre de manipulateurs de d\u00e9p\u00f4t utilise une technologie de conception et d’ing\u00e9nierie de pointe pour donner un chauffage de substrat \u00e0 haute temp\u00e9rature, uniforme et durable avec une manipulation pr\u00e9cise dans des conditions ultravide r\u00e9elles.<\/p>\n
Les EpiCentres ont \u00e9t\u00e9 con\u00e7us pour des applications de d\u00e9p\u00f4t telles que la MBE (Molecular Beam Epitaxy), la pulv\u00e9risation et la CVD (Chemical Vapor Deposition). Le recuit du substrat, le d\u00e9gazage et d’autres modifications de mat\u00e9riaux \u00e0 haute temp\u00e9rature peuvent \u00e9galement \u00eatre effectu\u00e9es.<\/p>\n
Les EpiCentres peuvent \u00eatre mont\u00e9s dans n’importe quelle orientation pour s’adapter aux conceptions de chambre du client et aux configurations d’application.<\/p>\n
Principales caract\u00e9ristiques<\/p>\n