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Les vannes 3 positions HVA sont con\u00e7ues pour \u00eatre utilis\u00e9es dans la gravure, la CVD et tout autre processus n\u00e9cessitant un contr\u00f4le de la pression. Lorsqu’elle est utilis\u00e9e avec des r\u00e9gulateurs de d\u00e9bit massique en amont, cette s\u00e9rie contribuera \u00e0 une capacit\u00e9 de contr\u00f4le de pression exceptionnelle. Ces vannes peuvent \u00e9galement \u00eatre utilis\u00e9es pour lisser la transition du vide grossier vers le vide pouss\u00e9. Les vannes utilisent deux sol\u00e9no\u00efdes pneumatiques et un r\u00e9gulateur de pression d’air pour atteindre les trois positions: compl\u00e8tement ouverte, compl\u00e8tement ferm\u00e9e et une troisi\u00e8me position r\u00e9glable. Un sol\u00e9no\u00efde contr\u00f4le les positions compl\u00e8tement ouverte et compl\u00e8tement ferm\u00e9e tandis qu’un second sol\u00e9no\u00efde contr\u00f4le la troisi\u00e8me position.<\/p>\n