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Les vannes HPV (Harsh Process Valves) de la s\u00e9rie 71000 de chez HVA sont con\u00e7ues pour les environnements de vide les plus difficiles. Dans des applications contraignantes typiques telles que MOCVD, ALD, PECVD, les vannes sont soumises \u00e0 des produits chimiques agressifs et \u00e0 des temp\u00e9ratures \u00e9lev\u00e9es. Les sous-produits peuvent affecter le fonctionnement des engrenanges\/roulements, des liaisons et peuvent provoquer le grippage de la vanne. Les vannes HPV r\u00e9solvent ce probl\u00e8me en \u00e9tant sans pi\u00e8ces mobiles et avec un soufflet qui reste isol\u00e9 du processus. Les vannes pr\u00e9sentent une conception robuste \u00e0 double confinement pour une s\u00e9curit\u00e9 accrue, des soufflets scell\u00e9s isol\u00e9s du processus pour moins d’entretien, un nettoyage in situ facile et le remplacement des joints toriques pour r\u00e9duire les temps d’arr\u00eat et une fonction de pompe souple int\u00e9gr\u00e9e en option pour les particules plus faibles.<\/p>\n