Module de chauffage

Une solution économique pour le chauffage d’échantillons tout en bénéficiant d’une technologie de chauffage de pointe éprouvée. Ils comprennent des éléments chauffants traités par CVD emballés dans des boîtiers métalliques réfractaires.
En plus des solutions complètes de chauffage des échantillons proposées avec les manipulateurs de dépôt EpiCentre, UHV Design propose également une gamme de modules de chauffage individuels que les utilisateurs finaux peuvent intégrer dans leurs propres conceptions de manipulateurs avec chauffage. La gamme offre aux utilisateurs finaux une solution économique pour le chauffage des échantillons, tout en bénéficiant d’une technologie de chauffage éprouvée utilisée dans les manipulateurs de pointe du marché.

Les modules de chauffage UHV Design sont utilisés dans les applications sous vide pour chauffer par rayonnement des wafers du semi-conducteur, des échantillons supportés par des supports ou divers autres substrats à des températures élevées. Les modules comportent des éléments chauffants traités par CVD emballés dans des boîtiers en métal réfractaire.
La zone chaude immédiate maintenant l’élément est construite à partir de métaux réfractaires tels que le molybdène, le tantale et la céramique et ne comprend aucun autre matériau susceptible de compromettre les performances à haute température. Ces modules sont donc particulièrement adaptés aux applications ultra-vide.

Principales caractéristiques

• Chauffage haute uniformité jusqu’à 1200°C
• Éléments avec un rapport surface/espace rayonnant élevé – capables de fonctionner à des températures plus basses que les fours métalliques conventionnels
• Zone chaude en métal réfractaire – performances sans compromis à haute température

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